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超低溫用冷卻器

UC-70

氟作為專用熱媒、超低溫度較寬溫度范圍使用。

主要用途

蝕刻裝置等的冷卻 

 

主要特點

氟作為專用熱媒、超低溫度較寬溫度范圍使用

使用溫度范圍- 60℃～+ 60℃，超低溫下冷卻性能也很穩定。由于氟作為熱媒，循環液罐是密閉式的。

無液漏之憂的泵，通過逆變器進行控制

使用了磁鐵耦合型密封泵，無液體泄漏。

技術參數

型號	UC-70
使用溫度范圍	-60℃～+60℃(*1)
溫度調節精度	加熱器PID控制、±0.5℃以內(*2)
冷卻能力	循環液溫-30℃：1.15kW 循環液溫-50℃：0.7kW(*3)
冷凍機(水冷式)功率	1.5kW
泵能力	排水圧力［MPa］：≤0.55 流量［L/min］：6/11 功率輸出［kW］：0.75(*4)
功率輸出	2.4kW
安全器/安全功能	漏電斷路器、罐內液面低下、循環液高溫、熱敏繼電器(冷凍機?泵)、冷媒高壓?低壓壓力、循環流量低下、溫度傳感器異常檢測、以防止觸電、緊急停止開關
警報功能	循環液補充、循環液溫異常(高溫、低溫、溫度偏差)、泵壓力偏差(*5)
輸入/輸出功能	遠程信號輸入、液溫度設定信號輸入、緊急停止信號輸入、裝置運轉信號輸出、裝置異常信號輸出、液溫度監視器輸出
適用熱媒體(循環液)	GALDEN HT110
循環液罐容量	約2.5L(＋備用罐：約9.2L)
所要一次冷卻水量	冷卻水溫度+20℃：11L/min 冷卻水溫度+30℃：23L/min(*6)
配管連接口徑(循環液出入口、一次冷卻水出入口)	Rc1/2(閥裝備)、Rc1/2
外形尺寸	553×850×1281Hmm
重量	約235kg
電源	三相AC200V?50/60Hz?30A(*7)
運轉電流［A］(50/60Hz)	19/21
標配附件	D輔助連接器×1(*8)、電源線(4m)、泄水接水裝置

(*1)溫度(-60℃)無負荷情況下。

(*2)循環流量6L/min以上的運轉。
(*3)冷卻能力根據循環流量變化，請注意。
(*4)排水圧力的運轉周波數75Hz時，循環流量應設定為0.15MPa。
(*5)警報功能啟動時，裝置也會繼續運行。
(*6)所要冷卻水不能正常供應，是冷卻能力下降和問題發生的原因。
(*7)本產品是根據不同地域的50Hz和60Hz做調整之后出貨。在詢問的時候，請先確認。在購買后地域移動需重新調整。
(*8)連接連接器用的信號線不標配。
●本產品使用環境溫度范圍+5℃～+35℃。
●本機為大型、重量機器，運送、安裝等費用需另付。

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