能量色散型微區X射線熒光光譜儀特點

• 配備新開發的X射線集束毛細管透鏡，實現了*小分析直徑達50μm的微區測定，適合半導體/電子部件/食品領域等高靈敏度、高分辨率分析。
• 可以在大氣中進行從輕元素到重元素（Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200／1400）的分析。
• 配備雙CCD（高倍率,低倍率）攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置，進行分析。
• 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數（BG-FP）法。
• 5種1次X射線濾光片自動交換機構，可消除來自X射線管的特征X射線，提高信噪比。

能量色散型微區X射線熒光光譜儀規格

• 測定対象：固體、液體、粉末
• 祥品尺寸：*大150×150×40mm
• 測定范圍：μEDX-1200型／₁₃AI～₉₂U、μEDX-1300型／₁₁Na～₉₂U、μEDX-1400型／₁₃AI～₉₂U

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