ULVAC羅茨型真空泵
羅茨型真空泵
MBS系列（一段式）MBS-030/MBS-050
型 號
排氣速度*1
極限壓力
電源
重量
吸氣管*2
*大尺寸
推薦輔助泵
單位
m3/h
Pa
-
kg
mm
MBS-030
30
4.0×10-2
1φ100V/200V
14.0
VG-25VF-25
172.0×488.0×145.0
GLD-136C
36
MBS-050
50
16.0
VG-40VF-40
175.0×518.0×160.0
GLD-201B
60
*1 :
排氣速度:上欄為50Hz時的實際排氣速度,下欄為60Hz時的實際排氣速度。
*2 :
吸氣管的表示方法為,外徑X內徑(內螺紋尺寸),或者為法蘭尺寸
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