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分批式凈化系統

]資料

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產品名稱: 分批式凈化系統
產品型號: CBS
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
分批式凈化系統 The original sealed structure has enabled the atmospheric process. With the ultra high HEPA filter adopted,the maximum available temperature at 500℃ has been achieved.

分批式凈化系統的詳細介紹

分批式凈化系統：

The original sealed structure has enabled the atmospheric process.
With the ultra high HEPA filter adopted,the maximum available temperature at 500℃ has been achieved.
Cycle time reduction is possible by oven rapid cooling system and/or speedy substrate-transfer.

Available glass size		~W730×L920mm
Temperature range		80~500℃
Temperature uniformity		±5℃
Cleanliness		Class 10 (0.3μm)
Applications		A wide variety of Annealing of LTPS & TFT

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Email：info@irmtech.cn

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分批式凈化系統

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