產品[
日本YAMATO等離子清洗機PC1000-5030
]資料
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產品名稱:
日本YAMATO等離子清洗機PC1000-5030
產品型號:
PC1000-5030
產品展商:
YAMATO
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簡單介紹
日本YAMATO等離子清洗機PC1000-5030
大型等離子清洗機PC1000-5030
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日本YAMATO等離子清洗機PC1000-5030
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PC1000-5030
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Specifications
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Model
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PC1000-5030
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Plasmamethod
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RIE ? DP
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Electrode
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Parallelflatstageplate
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RFgenerator
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100~1000W
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Oscillationfrequency
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13.56MHz
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Controlsystem
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LCDTouchpanelwith PLC
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Chambersize
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(W)600×(D)370×(H)145mm
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Stage size
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(W)500×(D)300mm
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Chambermaterial
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Aluminum
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Reactiongas
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O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
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Purge gas
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N2orDryair
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Flow meter
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Mass flowcontrol2line
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Vacuumpump
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700L/min
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Gas system
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2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
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Externaldimension
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(W)900×(D)950×(H)1,530mm
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Powersupply
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AC200/220/380V3phase 25A
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