極限壓力 | 8.0X10-2(使用液氮時) | 排氣速度 | 10m3/h
（at1.3×101Pa） | 排氣系統 | ●羅茨泵
（MBS-010）10m3/h
●油旋片真空泵
（GVD-050A）50L/min
●漏閥
●真空計接口
(18φ傳感器用) | 電源 | 100V１φ0.75kVA | 重量 | 26kg | 外形尺寸 | 430mm(長)×250mm(寬)×523mm(高) | 選購件 | 1．油霧過濾器
（OMT-050A）
*請根據用途挑選選購件 |
| 極限壓力 | 6.0X10-2(使用液氮時) | 排氣速度 | 30m3/h
（at1.3×101Pa） | 排氣系統 | ●羅茨泵
（MBS-030）30m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-136C）135L/min
●漏閥
●真空計接口
(18φ傳感器用) | 電源 | 100V１φ1.5kVA | 重量 | 43kg | 外形尺寸 | 633mm(長)×250mm(寬)×651mm(高) | 選購件 | 1．油霧過濾器
（OMT-200A）
2．排氣口過濾器
（OMI-200）
*請根據用途挑選選購件 |
| 極限壓力 | 6.0X10-2(使用液氮時) | 排氣速度 | 50m3/h
（at1.3×101Pa） | 排氣系統 | ●羅茨泵
（MBS-050）50m3/h
●油旋片真空泵
（GLD-201B）200L/min
●漏閥
●真空計接口
(18φ傳感器用) | 電源 | 100V１φ1.5kVA | 重量 | 49kg | 外形尺寸 | 643?mm(長)×250?mm(寬)×689mm(高) | 選購件 | 1．油霧過濾器
（OMT-200A）
2．排氣口過濾器
（OMI-200）
*請根據用途挑選選購件 |
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VPM-010
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