極限壓力 | 8.0 X10-2(未使用液氨時) | 真空室 | 供給連接系統預留16個接口+鐘罩 | 基板電極 | 4點式(2點切換+2點切換) | 蒸發電源 | DC10V-40A、400W?２式(數字表示) | 膜厚監測器 | 水晶振動式膜厚控制器 CRTM-9000 | 真空泵 | 皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3 | 排氣系統 | 渦輪分子泵
300L/s（UTM-300)
油旋片真空泵
200L/min（GLD-201A） | 本體尺寸
(mm) | 530?(長)×480(寬)×1180(高） | 重量 | 80kg(主機) | 電力 | 1φ 100V1.6kVA、
3φ 200V 1.2kVA | 選購件 | 改變電極構成、溫度監測器(基板、蒸發盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它 |
| 極限壓力 | 4.0 X10-4(未使用液氨時) | 真空室 | 供給連接系統預留16個接口+鐘罩 | 基板電極 | ２點切換式 | 蒸發電源 | AC10V-150A、1.5kW? １式（仿真表示） | 膜厚監測器 | 水晶振動式膜厚控制器 CRTM-6000 | 真空泵 | 皮拉尼真空計GP-1S、電離真空計GI-TL3 | 排氣系統 | 渦輪分子泵
300L/s（UTM-300)
油旋片真空泵
200L/min（GLD-201A） | 本體尺寸
(mm) | 530?(長)×480(寬)×1180(高） | 重量 | 80kg(主機) | 電力 | 1φ 100V0.8kVA、
3φ 200V 1.2kVA、
1φ 200V 2.0kVA | 選購件 | 改變電極構成、溫度監測器(基板、蒸發盤)、改變真空計、擋板、改變排氣系統真空泵(渦旋型干泵、油擴散泵、低溫泵)、其它 |
| 極限壓力 | 4.0 X10-4(未使用液氨時) | 真空室 | 真空室 帶準備室的2室、帶水平傳送機構 | 基板電極 | 電阻加熱式蒸發源、標準8點(有機膜6點、金屬膜2點)
T/S間距離、250-300mm | 蒸發電源 | 有機膜用:DC400W、2個
金屬膜用:AC1、5KW、1個 | 真空泵 | 蒸發室:電離真空計 GI-TL3、皮拉尼真空計GP-1S
準備室:渦旋型干式泵90L/min | 排氣系統 | 蒸發室:TMP(600L/s)+渦旋型干式真空泵250L/min
準備室:渦旋型干式真空90L/min | 本體尺寸
(mm) | 1620(長)×650(寬)×1550(高）
(控制盤) | 重量 | 400kg(本體)、150Kg(控制盤) | 電力 | 1φ 100V、3kVA、
3φ 200V 、3kVA、(50/60Hz) | 特別規格 | 蒸發室(有機膜、金屬膜分分割):真空3室(蒸發室2室+準備室)、基板、蒸發盤的溫度測定器、追加基板收納器、氣體導入、真空排氣系統變更、可動面罩、其它 |
|