特性
ULVAC機工的直聯型油旋片式真空泵，是由葉片旋轉工作的蓋德式真空泵。泵油的作用是潤滑旋轉機件、密封真空泵箱，
從而達到優良、可靠、穩定的真空。小型直聯泵與皮帶泵相比，有啟動快速、排氣迅捷的優點。G系列有一段式和兩段式
兩種類型，排氣速度在5L/min.至100L/min.的范圍內。
使用指導
1.保證在任何時候都保持正確的油量和良好的狀況。
2.結束排氣之前，應先向大氣開放，使泵油的蒸汽回流。(請咨詢我們以獲取使用上的幫助)
3.當真空泵長時間運轉至超過0.1Mpa時，排氣口可能有油霧排出。安裝油霧捕集器(OMT系列)，
或油霧分離器(OMT系列)，能減少環境污染。
4.油旋片真空泵不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.科學與化學試驗，分析裝置，鐳射相關裝置。
2.小型食品包裝機械，真空模型機械。
3.高真空排氣系統，電子顯微鏡系統前級泵，半導體生產系統。
4.真空沉淀系統，冷凍干燥系統。
5.醫療器械設備。
型 號 | 排氣速度
*1 | 極限壓力 | 電源 | 重量 | 吸氣管
*2 | *大尺寸 | 機能 | 單位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | G-5 | 5 | 4.0×103 | 1φ
100V/220V | 2.5 | 12×6 | 80.0×199.0×156.0 | 帶過熱保護器 | 6 | G-5DA | 5 | 6.7 | 1φ
100V/200V/220V | 5.0 | 12×6 | 130.0×203.0×159.5 | 帶過熱保護器 | 6 | G-10DA | 10 | 1.3 | 1φ
100V/200V/220V | 5.5 | 18×14 | 130.0×228.0×165.0 | 帶過熱保護器 | 12 | G-25SA | 20 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 8.5 | 18×14 | 156.0×288.0×199.5 | 帶過熱保護器 | 24 | G-20DA | 20 | 1.3×10-1 | 1φ
100V/200V/220V | 9.0 | 18×14 | 156.0×299.5×199.5 | 帶過熱保護器 | 24 | G-50SA | 50 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 11.0 | 18×14 | 156.0×344.5×199.5 | 帶過熱保護器
帶防返油機構 | 60 | G-50DA | 50 | 1.3×10-1 | 1φ
100V/200V/220V | 11.0 | 18×14 | 156.0×344.5×199.5 | 帶過熱保護器 | 60 | G-100S | 100 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 21.6 | 27×20 | 173.5×460.5×264.0 | 帶過熱保護器
帶防返油機構 | 120 | G-100D | 100 | 6.7×10-2
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 22.4 | 27×20 | 173.5×460.5×264.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥 | 120 |
|
G-5DA
G-20DA
G-50SA
G-100S
|
特性
GLD系列，具有低振動，低噪音及以下優良性能：
1.氣鎮閥能防止蒸汽(例如水蒸汽)凝縮在泵油內。
2.強制給油機構能保證從大氣到高真空的整個排氣過程中，保持油潤滑和內部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護真空箱。低溫確保了真空泵創造良好的真空度。強制的油過濾器可濾出泵油的雜質，
通過大型刻度易讀的油量計，可以隨時檢查泵油的狀況。
GLD-136A GLD-136C GLD-201A GLD-201B 特點
1.該系列是在GLD系列上裝配了寬電壓馬達，適用于全球范圍，有單相和三相兩種可供選擇。
2.只需簡單地改變接線方式，就能應用于不同電壓，不必再根據使用地點的不同，為真空泵配備不同的馬達。
3.單相可用于100V—120V或200V—240V。帶有與GLD系列相同的氣鎮閥，逆流防止功能和大型油量計。
是CE自我認證產品。
使用指導
GLD系列與G系列相比性能有顯著的提高。為了發揮其優良性能，請注意以下幾點：
1.GLD系列可適用于廣泛領域，能獲得極低的真空(10-2Pa)，配置KF法蘭和各種管道可獲得高真空。
2.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.物理和化學試驗，分析裝置，鐳射相關裝置。
2.高真空排氣系統和電子顯微鏡的前級泵系統。
3.半導體生產系統，濺射系統，真空蒸發系統。
4.真空干燥，冷凍干燥系統。
型 號 | 排氣速度
*1 | 極限壓力 | 電源 | 重量 | 吸氣管
*2 | *大尺寸 | 機能 | 單位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GVD-050A | 50 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 13.7 | 18×14 | 160.0×415.5×236.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 60 | GLS-051 | 50 | 9.3 | 1φ
100V/200V/220V | 13.0 | KF-25 | 165.5×365.0×222.7 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 60 | GLD-040 | 40 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ200-240V
1φ100V | 16.0 | KF-25 | 150.0×427.0×228.5 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 48 | GLD-051 | 50 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 14.0 | KF-25 | 165.5×399.0×222.5 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 60 | GLD-136A | 135 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 3φ380-460V
1φ100-120V | 24.0 | KF-25 | 170.0×488.0×240.0 | 帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 162 | GLD-136C | 135 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 3φ200-240V
3φ200-240V | 26.0 | KF-25 | 170.0×488.0×250.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 162 | GLD-201A | 200 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 3φ200-240V
3φ380-460V | 28.0 | KF-25 | 170.0×516.0×240.0 | 帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 240 | GLD-201B | 200 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ200-240V
1φ200-240V | 28.0 | KF-25 | 170.0×516.0×250.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 240 | GLD-280 | 280 | 6.7×10-1
（帶氣鎮閥 開） | 3φ200-240V
3φ380-460V | 32.0 | KF-25 | 181.0×544.0×269.0 | 帶氣鎮閥
帶防返油機構
寬電壓馬達 | 336 |
|
GLD-051
GLD-136C
GLD-201A
GLD-280
|
化學型 | 在高性能的GLD系列的基礎上，具有更高耐腐蝕性的化學型真空泵 |
特性
ULVAC機工的GCD系列直聯型油旋片式真空泵，具有耐腐蝕性，可用于對有毒氣體和腐蝕性氣體的排氣，適用于
化學，半導體和生化行業。共有三種機型，排氣范圍在50L/min.至200L/min.之間。
使用指導
1.GCD系列真空泵請使用合成泵油(SOM)。
2.對任何有毒或腐蝕性氣體排氣前請咨詢當地銷售商。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.半導體業界 2.化學業界 3.化學處理后干燥 4.生化業界 5.防污染耐酸性處理
型 號 | 排氣速度
*1 | 極限壓力 | 電源 | 重量 | 吸氣管
*2 | *大尺寸 | 機能 | 單位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GCD-051X | 50 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 14.1 | KF-25 | 165.5×423.0×222.7 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 60 | GCD-136X | 135 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 25.4 | KF-25 | 170.0×493.0×241.1 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 162 | GCD-201X | 200 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 3φ200V
3φ220V | 26.6 | KF-25 | 170.0×509.5×241.1 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 240 |
|
GCD-051X
GCD-136X
|
高速回轉緊密型 | 2極馬達高速旋轉，1段泵體小型輕量的緊密型真空泵 |
特性
ULVAC機工的GHD系列直聯型油旋片式真空泵，有以下優良配置：逆流防止閥、氣鎮閥、強制給油和過熱保護
裝置。GHD系列真空泵外形小巧、低噪音、低振動，適合于內置式或桌面上使用。
使用指導
GHD系列擁有比G系列更為優越的性能，但是在應用上需注意以下幾點：
1.GHD系列可適用于廣泛領域，能獲得極低的真空(10-2Pa)，并使用KF法蘭以便獲得高真空。為發揮*大性能請
使用高真空法蘭。
2.GHD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體(請選擇GCD系列)。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.科學與化學試驗，分析裝置，鐳射相關裝置。2.高真空排氣系統。 3.電子顯微鏡的前級泵系統。 4.檢漏。
型 號 | 排氣速度
*1 | 極限壓力 | 電源 | 重量 | 吸氣管
*2 | *大尺寸 | 機能 | 單位 | L/min | Pa | - | kg | mm | mm | - | GHD-030 | 30 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/200V/220V | 8.7 | KF-16 | 120.0×278.5×166.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 36 | GHD-060 | 60 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V | 14.0 | KF-25 | 132.0×323.0×217.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 72 | GHD-120 | 120 | 6.7×10-2
6.7
（帶氣鎮閥 開） | 1φ
100V/220V | 16.0 | KF-25 | 132.0×367.0×217.0 | 帶過熱保護器
帶氣鎮閥
帶防返油機構 | 144 |
|
GHD-030
GHD-120
|
*1 : | 排氣速度:上欄為50Hz時的實際排氣速度,下欄為60Hz時的實際排氣速度。 |
*2 : | 吸氣管的表示方法為,外徑X內徑(內螺紋尺寸),或者為法蘭尺寸 |
*3 : | 如需要三相電源，請聞訊。 |
* | 如需要記載之外的電源，請聞訊。 |