RFS-200

靶材尺寸

φ80厚度1-5mm

真空室

200mm(長)×250mm(寬)×150mm(高）
SUS?304制 前面開門

基板電極

φ80Cu制 加熱。冷卻式

靶電極

φ80Cu制 冷卻

擋板

φ95厚度1mm手動操作

RF電源

200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路

基板加熱電源

管加熱器加熱自動溫調MAX350℃
溫度指示計 (數字型)

排氣系統

F-250油擴散泵（240L/sec）
油旋片真空泵G-100D（100L/min）
主閥2。5英寸蝶閥
水冷閥 三向切換閥 皮拉尼真空計(數字型２點式)

本體尺寸

800mm(長)×630mm(寬)×1450mm(高）

重量

200kg

電力

100V　1φ　1.3kVA

RF電力

100V　1φ　0.5kVA

冷卻水用量

0.2MPa　5L/min　25℃以下

選購件

液氨冷阱、磁控管、電離真空計、追加氣體導入、排氣口過濾器、基板加熱650C

性能

極限壓力

6.7X10^-4

排氣時間

10^-3Pa/5min

基板加熱溫度

MAX350℃

濺射壓力

10^-1PaAr氣體

靶材

導體
半導體
絕緣體

Al、Cu、Au、Cr等
Si、Ge、Se等
SiO₂、Al₂O₃ 等　

SCOTT-C1

基板尺寸 數量

φ4英寸 （φ100mm）×t＝1mm、1個

有效成膜范圍

φ50mm

RF電源

Max300W（40?300W可變）

成膜速度

SiO₂成膜時、大于30nm/min

膜厚分布

SiO₂成膜時、50mm+-10%以內

真空室極限壓力

6.6X10^-4

排氣時間

5分鐘內從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa

基板加熱溫度

Max350℃(水冷)

基板電極間距離

60mm

外形尺寸

1120mm(長)×704mm(寬)×1262mm(高）

裝置重量

約500kg

消耗電量

1φ100V（50/60Hz）3.0kVA

消耗水量

約8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)

蝕刻分布

用酸化膜磈片時、70mm+-10%以內

選購件

追加氣體導入、質量流量控制器、基板加熱600C (水冷)、DC電源

SCOTT-C3

基板尺寸 數量

φ2英寸 （φ50.8mm）×t＝1mm、1個

有效成膜范圍

φ25mm

RF電源

Max300W（40?300W可變）

成膜速度

SiO₂成膜時、大于30nm/min

膜厚分布

SiO₂成膜時、25mm+-10%以內

真空室極限壓力

6.6X10^-4

排氣時間

5分鐘內從大氣壓抽至6。6X10^-3Pa

基板加熱溫度

Max350℃(基板水冷機構:無)

基板動作

手動調節 3點指針旋轉 (約300度角)

基板電極間距離

50mm?90mm（可變：半固定）

外形尺寸

1100mm(長)×700mm(寬)×1070mm(高）

裝置重量

約400kg

消耗電量

1φ100V（50/60Hz）3.0kVA

消耗水量

2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa)

選購件

刻蝕機構 (洗凈)、追加氣體導入、質量流量控制器、
基板加熱350C(水冷)600C無水冷、DC電源

VPS-020

標準靶材

φ49Au1個 (鍍膜用)
φ49 Al 1個1個 (刻蝕用)

試料臺

φ70(高度調節范圍15mm、20mm、60mm)

真空槽

φ120(深度120mm)不銹鋼制

油旋片泵

G-20DA型（20L/min）

高壓電源

1kV/0?20mA(帶電流計、內置安全電路)

鍍膜方式

AC/DC

刻蝕方式

AC/DC

時間

0?15min、連續可變

氣體調節機構

針閥

電源

100V１φ0.4kVA

重量

8.5kg

外形尺寸

160mm(長)×365mm(奧行)×317mm(高)

選購件

1．靶材 Pt-Pd、Ag其它
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請根據用途挑選選購件

VPS-050

標準靶材

φ109Au1個 (鍍膜用)
φ109 Al 1個1個 (刻蝕用)

試料臺

φ100(高度調節范圍15mm、20mm、60mm)

真空槽

φ240(深度120mm)不銹鋼制

油旋片泵

G-100D型（100L/min）　選購件

高壓電源

1kV/0?20mA(帶電流計、內置安全電路)

鍍膜方式

AC/DC

刻蝕方式

AC/DC

時間

0?15min、連續可變

氣體調節機構

針閥

電源

100V１φ0.5kVA

重量

20kg

外形尺寸

282mm(長)×485mm(奧行)×440mm(高)

選購件

1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag其它
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請根據用途挑選選購件