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產品[

對應8inch Wafe的立式爐

]資料

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如果您對該產品感興趣的話,可以

產品名稱: 對應8inch Wafe的立式爐
產品型號: VF-5300
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
對應8inch Wafe的立式爐Large batch, Max 150 wafers batch processing Max 20 cassette stocksExcellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heaterHigh-speed wafer

對應8inch Wafe的立式爐的詳細介紹

對應8inch Wafe的立式爐:

Large batch, Max 150 wafers batch processing
Max 20 cassette stocks
Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W900×D2300×H3250mm
Heater		LGO heater(ID ø400mm)
Flat zone length		960mm
Wafer size		8inch
Batch size		150wafers
I/O port		2
Number of FOUP stock		20(standard)
Finger		5wafers+single wafer
Controller		Model VSC1000
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, HOST communication(HSMS/GEM), Thin wafer (100μm or more)handling, SMIF operation