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產品[

通用量產型立式爐

]資料

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產品名稱: 通用量產型立式爐
產品型號: VF-5100
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
通用量產型立式爐Flexible equipment configuration available for various production line50 to 150 wafers batch size can be selected 4 to 8 inch wafer size is available 4 to 8 cassette stocks

通用量產型立式爐的詳細介紹

通用量產型立式爐:

Flexible equipment configuration available for various production line
50 to 150 wafers batch size can be selected
4 to 8 inch wafer size is available
4 to 8 cassette stocks
Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W1250×D3200×H3400mm
Heater		LGO heater(ID ø500mm)
Flat zone length		1040mm
Wafer size		300mm
Batch size		100wafers
I/O port		2
Number of FOUP stock		16(standard)
Finger		5wafers+single wafer
Controller		Model VSC1000
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, HOST communication(GEM300)