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產品[

對應300mm Wafe的立式爐

]資料

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如果您對該產品感興趣的話,可以

產品名稱: 對應300mm Wafe的立式爐
產品型號: VF-3000
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
對應300mm Wafe的立式爐Low-cost equipment for back end users,Mini batch, 50 to 75 wafers processing is available for R&D to mass production line 4 to 8 inch wafer size is available Max 4 cassette stocks

對應300mm Wafe的立式爐的詳細介紹

對應300mm Wafe的立式爐:

Low-cost equipment for back end users
Mini batch, 50 to 75 wafers processing is available for R&D to mass production line
4 to 8 inch wafer size is available
Max 4 cassette stocks
Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W1200×D1400×H2550mm
Heater		LGO heater
Flat zone length		350~500mm
Wafer size		4~8inch
Batch size		75wafers
I/O port		4
Number of FOUP stock		4
Finger		single wafer
Controller		Model 880
Option		Forced-cooling system, Convertible wafer size