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產品[

R&D, 少量生產用立式爐

]資料

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產品名稱: R&D, 少量生產用立式爐
產品型號: VF-1000
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
R&D, 少量生產用立式爐High performance processing for R&D Mini Batch, max 25 wafers batch processing 2 to 8 inch and 300mm wafer size are available

R&D, 少量生產用立式爐的詳細介紹

R&D, 少量生產用立式爐：

High performance processing for R&D
Mini Batch, max 25 wafers batch processing
2 to 8 inch and 300mm wafer size are available
Equipped with LGO heater to realize high temperature performance as mass-production equipment
Equipped with limited function simple control system

Outer dimension		W1500×D1000×H2100mm
Heater		LGO heater
Flat zone length		160 to 250mm
Wafer size		to 8inch
Batch size		to 25wafers
Controller		Model 880
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, 25 to 150 wafers of processing (VF-2000)