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產品[

大口徑立式爐

]資料

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產品名稱: 大口徑立式爐
產品型號: VFS-4000
產品展商: 其它品牌
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
大口徑立式爐 Available for vacuum/atmospheric pressure process Available for various gases Substrate size: 730×930 mm (Typical) (To be discussed for other size.)

大口徑立式爐的詳細介紹

大口徑立式爐：

Available for vacuum/atmospheric pressure process
Available for various gases
Substrate size: 730×930 mm (Typical)
(To be discussed for other size.)
Excellent temp performance of large LGO heater

Outer dimension		W2000×D2000×H4200mm (furnace body)
Heater		LGO heater
Operation temperature		RT~700℃
substrate size		730×920 (G4)
Batch size		20~25
Flat zone temperature		to ±3℃
Chamber material		high-grade quarts
Controller		Model VSC1000
Option		Forced-cooling system, HOST communication(SECS/GEM)